인터넷무료게임 SK하이닉스, 메모리 업계 최초로 양산용 차세대 EUV 노광장비 도입 > 갤러리

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인터넷무료게임 SK하이닉스가 메모리 업계에서 처음으로 양산용 차세대 극자외선(EUV) 노광장비를 이천 M16 공장에 반입했다고 3일 밝혔다. 치열한 반도체 경쟁 속에서 첨단 제품을 신속하게 개발·공급하기 위한 업계의 핵심 인프라 확보 움직임이 빨라지는 모습이다.
SK하이닉스가 도입한 장비는 네덜란드 반도체 장비업체 ASML의 ‘트윈스캔 EXE:5200B’다. 차세대 노광장비인 ‘하이(High) 뉴메리컬어퍼처(NA·렌즈가 빛을 얼마나 많이 모을 수 있는지 나타내는 수치) EUV’ 가운데 대량 생산을 위한 첫 모델이다. ASML은 첨단 반도체 제조 공정에 필요한 EUV 노광장비를 생산하는 유일한 기업으로 ‘슈퍼 을’로 불린다.
해당 모델은 반도체 업계 전체에서 인텔이 가장 먼저 들여왔고, 메모리 업계에선 SK하이닉스가 처음이다. SK하이닉스는 우선 1대를 도입했다. 가격은 대당 5000억원이 넘는 것으로 전해진다. 삼성전자는 지난 3월 연구·개발용 하이 NA EUV 모델을 도입해 파운드리(위탁생산) 및 메모리 제품 개발에 활용하고 있는 것으로 알려졌다. 향후 삼성전자를 비롯한 다른 메모리 기업들도 양산용 모델을 도입할 것으로 예상된다.
EUV 노광장비는 반도체 원재료인 웨이퍼에 빛을 쏴 미세한 회로 패턴을 그리는 데 사용되는 첨단 제조장비다. 네덜란드 정부가 대중국 수출을 통제하는 품목이기도 하다. 하이 NA EUV는 기존 EUV보다 더 큰 NA를 적용해 해상도를 크게 높였다. 현 수준에서 가장 미세한 회로 패턴 구현이 가능해 선폭 축소와 집적도 향상에 핵심 역할을 할 것으로 기대된다. 다만 새 장비가 실제 대량 생산에 활용되기까진 시간이 걸릴 것으로 보인다.
반도체 제조업체가 생산성과 제품 성능을 높이려면 미세 공정 기술 고도화가 필수다. 회로를 더 정밀하게 구현할수록 웨이퍼당 칩 생산량이 늘어나고 전력 효율과 성능도 함께 개선되기 때문이다. SK하이닉스는 2021년 10나노급 4세대 D램에 EUV를 처음 도입한 이후 최첨단 D램 제조에 EUV 적용을 확대해왔다.
새 장비는 기존 EUV 대비 40% 향상된 광학 기술로 1.7배 더 정밀한 회로 형성이 가능하고 2.9배 높은 집적도를 구현할 수 있다. SK하이닉스는 “장비 도입을 통해 기존 EUV 공정을 단순화하고 차세대 메모리 개발 속도를 높여 제품 성능과 원가 경쟁력을 동시에 확보할 방침”이라며 “고부가가치 메모리 시장에서 입지를 강화하고 기술 리더십을 공고히 할 수 있을 것”이라고 전했다.
AI 연산을 지원하는 고대역폭메모리(HBM) 시장을 선점한 SK하이닉스는 올해 1분기에 이어 2분기에도 글로벌 D램 시장 1위를 차지했다. 시장조사업체 트렌드포스에 따르면 매출 기준 2분기 점유율은 SK하이닉스가 38.7%, 삼성전자가 32.7%, 마이크론이 22.0%이었다.
이날 개최된 장비 도입 기념 행사에는 김병찬 ASML코리아 사장, 차선용 SK하이닉스 최고기술책임자(CTO·부사장), 이병기 제조기술 담당 부사장 등이 참석했다. 김 사장은 “SK하이닉스와 긴밀히 협력해 차세대 메모리 반도체 기술 혁신을 앞당길 수 있도록 적극 지원하겠다”고 말했다. 차 CTO는 “최첨단 메모리를 가장 앞선 기술로 개발해 인공지능(AI) 메모리 시장을 선도하겠다”고 말했다.
해병대 채모 상병 순직사건 관련 의혹을 수사하는 이명현 특별검사팀이 고위공직자범죄수사처(공수처)가 전직 공수처 부장검사의 국회 위증 등 범죄 혐의를 대검찰청에 통보하지 않은 정황을 파악하고 수사에 착수했다. 공수처는 “신고 기한 등 구체적 규정이 없어 통보 시일을 검토해왔다”고 해명했지만 특검은 공수처가 전직 지휘부의 범죄 혐의를 뭉개려 했는지 수사 중이다.
정민영 특별검사보는 2일 정례브리핑에서 공수처가 송창진 전 공수처 수사2부장검사의 국회 위증 혐의 고발 사건을 대검에 통보하지 않은 정황을 들여다보고 있다고 밝혔다. 특검은 지난달 30일 공수처와 송 전 부장검사의 자택, 김선규·박석일 전 부장검사의 로펌 사무실 등을 압수수색했다.
앞서 국회 법제사법위원회는 송 전 부장검사가 지난해 7월 윤석열 당시 대통령 탄핵청원 청문회에서 위증을 했다며 공수처에 고발했다. 송 전 부장검사는 청문회에서 “공익신고자가 와서 조사를 받기 전엔 해병대 관련 수사외압 등에 이종호 전 블랙펄인베스트 대표가 연루된 사실을 알지 못했다”고 진술했다. 하지만 그가 과거 도이치모터스 주가조작 의혹 사건에서 이 전 대표를 변호한 사실이 알려지면서 논란이 일었다.
공수처법 25조 1항은 공수처장이 공수처 검사의 범죄 혐의를 발견하면 대검에 통보해야 한다고 규정했다. 하지만 공수처는 송 전 부장검사 고발 사건 접수 이후 1년가량 대검에 통보하지 않았다. 정 특검보는 “공수처가 이 사건을 계속 다른 곳으로 보내지 않고 들고 있던 부분”도 수사대상에 포함된다고 말했다.
공수처는 이 조항에 시한에 관한 내용이 없어 곧바로 통보하지 않았을 뿐이라는 입장이다. 공수처 관계자는 “직접 수사 가능성도 검토하고 있었다”고도 말했다. 반면 정 특검보는 “수사 결과에 따라 직무유기 혐의로 의율할 수도 있다”고 말했다. 수사 상황에 따라 오동운 공수처장 등 공수처 관계자 소환조사도 예상된다.
특검은 공수처의 채 상병 순직사건 수사 지연도 들여다보고 있다. 공수처는 2023년 채 상병 사건 고발장을 접수하고도 1년 반이 넘도록 수사에 성과를 보이지 못해 외압 의혹이 일었다. 특검은 최근 조사 과정에서 공수처 전직 지휘부가 수사 지연에 관여돼 있다는 취지의 진술을 확보했다. 이에 따라 김선규·송창진 전 부장검사 등이 수사대상에 올랐다.
12·3 불법계엄 관련 내란·외환 의혹을 수사 중인 조은석 내란 특별검사팀이 2일 서왕진 조국혁신당 원내대표를 참고인 신분으로 조사하고 있다.
특검은 이날 오후 2시부터 수사팀이 있는 서울 서초구 서울고검으로 서 원내대표를 불러 참고인 조사를 벌이고 있다. 국회 계엄 해제 의결 방해 의혹에 대한 조사다.
서 원내대표는 출석하면서 “(지난해 12월3일) 집에서부터 국회까지 오는 과정, 담장을 넘어 어떻게 국회에 진입했는지, 국회 본관에 진입해 표결을 할 때까지의 상황 등을 타임라인으로 정리해왔다”고 말했다.
그는 “표결할 수 있는 의원 수가 충족됐음에도 국회의장은 국민의힘 의원들의 참석을 기다리며 결정을 미루고 있었다”며 “이미 들어온 18명의 (국민의힘) 의원 외에는 추가로 전혀 들어오지 않았기 때문에 그 과정 자체가 국민의힘의 조직적인 불참 행위라고 생각한다”고 말했다.
서 원내대표는 계엄 당시 국회의 비상계엄 해제 요구 결의안 표결에 참석해 찬성표를 던진 190명의 의원 중 한 명이다.
특검은 지난해 12월3~4일 계엄 당시 추경호 전 원내대표 등 국민의힘 지도부가 당 소속 의원들의 계엄 해제 요구 결의안 표결 참여를 방해했다는 의혹을 수사 중이다. 특검은 앞서 우원식 국회의장과 김민기 국회 사무총장, 김상욱·김성회·박성준·백혜련 민주당 의원, 조경태·김예지 국민의힘 의원을 참고인 신분으로 조사했다.
특검은 오는 4일 박선원 민주당 의원을 참고인 신분으로 불러 내란·외환 의혹 전반을 조사할 예정이다.
전세사기·깡통전세 피해자 전국대책위 소속 회원들이 2일 국회 앞에서 기자회견을 열고 전세사기특별법 추가 개정을 촉구하고 있다.

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