SK하이닉스, 메모리 업계 최초로 양산용 차세대 EUV 노광장비 도입 > 갤러리

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SK하이닉스가 메모리 업계에서 처음으로 양산용 차세대 극자외선(EUV) 노광장비를 이천 M16 공장에 반입했다고 3일 밝혔다. 치열한 반도체 경쟁 속에서 첨단 제품을 신속하게 개발·공급하기 위한 업계의 핵심 인프라 확보 움직임이 빨라지는 모습이다.
SK하이닉스가 도입한 장비는 네덜란드 반도체 장비업체 ASML의 ‘트윈스캔 EXE:5200B’다. 차세대 노광장비인 ‘하이(High) 뉴메리컬어퍼처(NA·렌즈가 빛을 얼마나 많이 모을 수 있는지 나타내는 수치) EUV’ 가운데 대량 생산을 위한 첫 모델이다. ASML은 첨단 반도체 제조 공정에 필요한 EUV 노광장비를 생산하는 유일한 기업으로 ‘슈퍼 을’로 불린다.
해당 모델은 반도체 업계 전체에서 인텔이 가장 먼저 들여왔고, 메모리 업계에선 SK하이닉스가 처음이다. SK하이닉스는 우선 1대를 도입했다. 가격은 대당 5000억원이 넘는 것으로 전해진다. 삼성전자는 지난 3월 연구·개발용 하이 NA EUV 모델을 도입해 파운드리(위탁생산) 및 메모리 제품 개발에 활용하고 있는 것으로 알려졌다. 향후 삼성전자를 비롯한 다른 메모리 기업들도 양산용 모델을 도입할 것으로 예상된다.
EUV 노광장비는 반도체 원재료인 웨이퍼에 빛을 쏴 미세한 회로 패턴을 그리는 데 사용되는 첨단 제조장비다. 네덜란드 정부가 대중국 수출을 통제하는 품목이기도 하다. 하이 NA EUV는 기존 EUV보다 더 큰 NA를 적용해 해상도를 크게 높였다. 현 수준에서 가장 미세한 회로 패턴 구현이 가능해 선폭 축소와 집적도 향상에 핵심 역할을 할 것으로 기대된다. 다만 새 장비가 실제 대량 생산에 활용되기까진 시간이 걸릴 것으로 보인다.
반도체 제조업체가 생산성과 제품 성능을 높이려면 미세 공정 기술 고도화가 필수다. 회로를 더 정밀하게 구현할수록 웨이퍼당 칩 생산량이 늘어나고 전력 효율과 성능도 함께 개선되기 때문이다. SK하이닉스는 2021년 10나노급 4세대 D램에 EUV를 처음 도입한 이후 최첨단 D램 제조에 EUV 적용을 확대해왔다.
새 장비는 기존 EUV 대비 40% 향상된 광학 기술로 1.7배 더 정밀한 회로 형성이 가능하고 2.9배 높은 집적도를 구현할 수 있다. SK하이닉스는 “장비 도입을 통해 기존 EUV 공정을 단순화하고 차세대 메모리 개발 속도를 높여 제품 성능과 원가 경쟁력을 동시에 확보할 방침”이라며 “고부가가치 메모리 시장에서 입지를 강화하고 기술 리더십을 공고히 할 수 있을 것”이라고 전했다.
AI 연산을 지원하는 고대역폭메모리(HBM) 시장을 선점한 SK하이닉스는 올해 1분기에 이어 2분기에도 글로벌 D램 시장 1위를 차지했다. 시장조사업체 트렌드포스에 따르면 매출 기준 2분기 점유율은 SK하이닉스가 38.7%, 삼성전자가 32.7%, 마이크론이 22.0%이었다.
이날 개최된 장비 도입 기념 행사에는 김병찬 ASML코리아 사장, 차선용 SK하이닉스 최고기술책임자(CTO·부사장), 이병기 제조기술 담당 부사장 등이 참석했다. 김 사장은 “SK하이닉스와 긴밀히 협력해 차세대 메모리 반도체 기술 혁신을 앞당길 수 있도록 적극 지원하겠다”고 말했다. 차 CTO는 “최첨단 메모리를 가장 앞선 기술로 개발해 인공지능(AI) 메모리 시장을 선도하겠다”고 말했다.
노만석 검찰총장 직무대행이 여당이 추진하는 검찰개혁의 핵심 쟁점 중 하나인 ‘검찰 보완수사권 폐지’를 두고 “보완수사는 검찰의 의무”라며 사실상 반대 입장을 밝혔다. 더불어민주당이 검찰개혁에 속도를 내는 상황에서 검찰 조직을 대표해 우려의 목소리를 낸 것으로 풀이된다.
4일 대검찰청에 따르면 노 대행은 전날 부산에서 열린 제32차 마약류 퇴치 국제협력회의에 참석한 뒤 부산고검과 지검을 격려 방문한 자리에서 이같이 말했다. 노 대행이 심우정 전 검찰총장 사퇴로 대행을 맡은 뒤 검찰개혁과 관련해 입장을 밝힌 건 이번이 처음이다.
민주당이 추진 중인 검찰 보완수사권 폐지는 검찰이 수사 개시뿐 아니라 경찰 수사를 보완하는 것도 금지한다는 것이다. 노 대행은 “적법절차를 지키면서 보완수사를 통해 실체적 진실을 밝히는 것은 검찰의 권한이 아니라 의무”라고 말했다.
앞서 정성호 법무부 장관도 민주당의 검찰개혁 논의에 대해 우려하는 입장을 밝혔다. 정 장관은 중대범죄수사청(중수청)을 행정안전부 산하에 설치하는 안, 국무총리 산하 국가수사위원회(국수위)를 설치해 경찰·중수청과 고위공직자범죄수사처(공수처) 수사를 통제하는 안에 대해 사실상 부정적인 입장을 취했다. 경찰이 불송치한 사건까지 포함해 전건을 검찰에 넘기는 ‘전건송치’와 검찰 보완수사권 폐지 등에 대해서도 논의가 필요하다고 밝혔다.
민주당은 우선 검찰청 폐지와 공소청·중수청 설립을 담은 정부조직법 개정안을 오는 25일 국회 본회의에서 통과시키고 검찰 보완수사권 폐지 등은 후속 논의를 이어갈 계획이다. 김병기 민주당 원내대표는 이날 국회 정책조정회의에서 “검찰청 폐지 등을 정부조직법 개정안에 담아 9월 안에 통과시킬 것”이라고 말했다.
홍준표 전 대구시장이 더불어민주당에서 제기되는 내란특별재판부 설치 요구에 대해 “과유불급”이라고 말했다.
홍 전 시장은 3일 페이스북에 “(내란특별재판부는) 위헌”이라며 이같이 말했다. 그는 “사법부 독립은 어떤 경우라도 민주사회에서는 지켜져야 한다”며 “내란을 징치하겠다고 하면서 똑같이 헌법 질서를 짓밟는 것은 크게 잘못 하는 것”이라고 말했다.
홍 시장은 그러면서 “그러다가 이재명 총통제라는 말이 나올 수도 있다”고 말했다.
홍 시장은 내란특별재판부를 설치한 전례가 있다는 민주당 측 주장에 대해 “해방 후 반민특위 특별재판부는 헌법적 근거가 있었고, 5·16 쿠데타 후 혁명재판부는 쿠데타였기 때문에 가능했던 것”이라며 “선거로 태어난 정부가 할 일은 아니다”고도 했다.
민주당 의원 115명이 공동 발의한 내란특별법안은 서울중앙지법·서울고법에 내란특별재판부를 설치해 12·3 내란사건 재판을 전담토록 하는 내용 등을 담고 있다. 재판부 구성은 국회와 판사회의, 대한변협에서 추천하는 재판부 후보 추천위원회가 결정한다.
1000만명이 넘는 구독자를 보유한 유튜버 쯔양(본명 박정원)을 협박해 수천만원을 뜯어낸 혐의로 1심에서 징역 3년을 선고받은 구제역(본명 이준희)이 항소심에서도 징역 3년을 선고받았다.
수원지법 형사항소3-3부(김은교 조순표 김태환 부장판사)는 5일 공갈 등 혐의로 기소된 구제역 등에 대한 항소심에서 이같이 선고했다. 또 구제역의 공범으로 기소된 주작감별사(본명 전국진), 구제역 등의 공갈 범행을 방조한 혐의로 기소된 카라큘라(본명 이세욱)와 크로커다일(본명 최일환)에 대해서도 모두 원심과 동일한 형을 선고했다.
1심은 주작감별사에게 징역 1년에 집행유예 3년 및 사회봉사 160시간을, 카라큘라에게 징역 1년에 집행유예 3년 및 사회봉사 240시간을, 크로커다일에게 벌금 500만원 등을 선고했다.
다만 공갈 등 혐의로 함께 기소된 최모 변호사에 대해서는 원심을 파기하고 징역 1년6월에 집행유예 2년 및 사회봉사 160시간을 선고했다. 최 변호사는 쯔양에게 ‘위기관리PR’ 자문료 명목으로 2310만원을 갈취한 혐의(공갈, 개인정보보호법 및 변호사법 위반 등) 등으로 1심에서 징역 2년을 선고받았다.
항소심 재판부는 쯔양 공갈과 관련해 구제역의 ‘관련자들과의 대화 녹음 파일에 내가 금전을 요구한 사실은 없다’ 는 주장에 대해 “관련자가 녹음한 게 대화 전체는 아니라고 보이며 명시적 방법이 아니어도 피고인의 일련의 발언과 거동 등을 보면 묵시적으로 공갈이 성립된다”고 판단했다.
이어 “피고인은 피해자의 약점을 이용해 사생활을 대중에 폭로하지 않는 대가로 재물을 갈취해 그 죄질이 좋지 않고 피해액이 상당하다”며 “그럼에도 이해할 수 없는 변명으로 일관하고 재판부를 호도하려 해 진지하게 반성하는 태도라고 볼 수 없다”고 양형 이유를 밝혔다.
재판부는 최 변호사에 대해서는 “당심에 와서 원심의 유죄 판결 전부를 인정하고 잘못을 뉘우치고 있다”며 “1년 가까이 구금된 기간 자숙한 것으로 보이는 점 등을 고려하면 원심 형은 너무 무거워 부당하다”고 설명했다.
구제역과 주작감별사는 2023년 2월 쯔양에게 “네 사생활, 탈세 관련 의혹을 제보받았다. 돈을 주면 이를 공론화하지 않겠다”는 취지로 겁을 줘 5500만원을 뜯어낸 혐의로 기소됐다.
카라큘라와 크로커다일은 구제역에게 “쯔양에 관한 폭로 영상을 올리기보다 직접 돈을 뜯어내는 것이 이익”이라는 취지로 공갈을 권유한 혐의를 받는다.
최 변호사는 2021년 10월 쯔양의 전 남자친구이자 전 소속사 대표인 A씨가 한 식당을 상대로 제기한 민사소송으로 A씨를 처음 알게 된 뒤 A씨와 쯔양을 협박한 혐의로 기소됐다. 그는 당시 식당(피고) 측 법률대리인이었다. 최 변호사는 A씨로부터 얻은 쯔양과 관련한 개인정보를 구제역에게 제공한 혐의도 받았다.
그들은 부리가 크고 위로 휘어 큰뒷부리도요라 불린다. 쉬지 않고 가장 멀리 나는 세계기록을 가진 새다. 1만3000여㎞. 알래스카에서 번식하고 뉴질랜드에서 월동하는 철새의 운명이 남긴 기록이라 생각하면 안쓰럽기도 하다. 다행히, 봄이 와 북쪽으로 돌아가는 길에는 잠시 머물 곳이 있다. 한국의 서천갯벌과 수라갯벌. 그 지척이 새만금 신공항 부지다.
새만금 역시 세계기록을 가졌다. 세계에서 가장 긴 방조제. 2010년 기네스북에 등재될 때는, 얼마나 많은 토석을 쏟아부었는지, 국토 면적이 얼마나 늘어날지, 공사비용은 얼마며 동원된 인력과 장비 규모가 어땠는지, 그 모든 기록이 ‘바다의 만리장성’을 가진 자부심에 동원되었다. 훗날 ‘잼버리 사태’라는 부끄러움의 이유가 될 줄은 누구도 몰랐을 것이다.
새만금만의 문제는 아니다. 대규모 예산이 투입되는 대형 프로젝트는 실패가 기본값이다. ‘메가프로젝트의 철칙’이라고 한다. 비용은 늘어나고 시간은 길어지며 계획은 계속 달라진다. 경험은 쌓이지 않고 이해관계는 복잡해지고 실행 가능성은 희미해진다. 그런데도 멈추지 못한다. 타당성을 평가하지 못해서가 아니다. ‘기념비적’ 개발에 자신을 결부시키고 싶은 정치인들이, 기대를 수정하는 대신 미래를 조작하기 때문이다.
새만금 개발은 1987년 대통령 선거가 낳은 프로젝트다. 야당 후보 김영삼이 던진 새만금 간척사업 공약을 여당 후보 노태우가 ‘복붙’했다. 지지부진하던 사업을 야당 총재 김대중이 촉구하며 착공했다. 착공 이후 멈출 기회가 있었다. 유사한 개발사업인 시화호 오염 실태가 드러나면서 새만금 개발 백지화 요구가 확산한 것이다. 그러나 “전북의 염원”을 내세운 지방정부가 반대 여론을 제압했다. 새만금 간척사업 취소 청구 소송도 있었으나 법원은 멈출 기회를 내버렸다. 2006년, 방조제가 끝내 바다를 막았을 때 애초 계획을 기억하는 이는 없었다. 2004년이면 다 끝나 있을 거라던 시간표도.
“문제는 속도입니다.” 촛불민주주의 실현을 자처한 문재인 정부가 나섰다. “세계 최대 재생에너지 복합단지”를 만들겠다고 분주하더니 새만금 신공항 사업에 ‘예타’(예비타당성조사) 면제라는 날개를 달아줬다. 비용 대비 편익도 낮고 인근 군산공항만 봐도 적자가 빤히 예상되는 사업이다. 수많은 생물에게서 갯벌을 빼앗고 새들을 항공기와의 충돌 사고로 몰아넣는 일이다. 더 나은, 더 책임 있는 결정에 이르는 것이 민주주의라면 새만금과 함께 민주주의도 실패하고 있다.
개발 프로젝트는 흔히 경제 대 환경, 인간 대 생태의 구도로 그려진다. 그러나 이는 실제와 다르다. 새만금 간척사업은 어민들의 반대를 묵살하지 않고서는 진행될 수 없었다. 대형 건설업체들은 쾌재를 불렀지만 지역경제로 돌아오는 몫은 거의 없었다. 개발은 무언가를 저렴하게 만드는 대가로만 성사된다. 계산도 되지 않는 생물들처럼 어떤 인간들은 값싼 존재가 되어 지워지거나 착취당한다. 개발의 흔한 구도는 경제, 환경, 인간 각각에서 갈등해야 할 것을 숨길 뿐이다.
설령 계획대로 새만금 신공항이 지어지고 산업단지가 들어서면 달라질까? 그리로 출퇴근할, 대부분이 비정규직일 노동자의 삶에 바다를 땅으로 만든 기록이 위로가 되지는 않을 듯하다.
새만금은 다시 민주주의를 질문하고 있다. 우리는 어떻게 평등하게 살아갈 것인가. ‘지방’이 실패가 예정된 개발의 덫에 빠지지 않을 방법은 무엇인가. 모든 생명이 서로 기대며 살아갈 조건은 어떻게 만들 것인가. 기후위기 앞에서 우리는 방향을 정해야 한다. 새만금을 이제 탈출하자. 927기후정의행진이 제안하듯, 새만금 신공항을 백지화하고 민주주의로 기후정의로 광장을 잇자.
큰뒷부리도요를 앞세운 ‘새, 사람 행진’이 서울로 오고 있다. 9월11일 서울행정법원의 새만금 신공항 기본계획 취소소송 판결을 앞두고, 9월5일 남태령을 함께 넘자고 제안한다. 갈등하지 못했던 것들이 갈등할 수 있게 된 장소, 법의 규격을 넘어 내란 이후의 민주주의를 상상하게 한 장소. 새와 사람이 함께 넘어 좋을 고개다.
큰뒷부리도요도 자랑하고 싶은 것이 있을까? 있더라도 더 멀리 나는 기록은 아닐 듯하다. 주어진 몸으로 무리와 함께 살아가는 방식이 그저 자랑스럽지 않을까. 그렇다면 큰뒷부리도요에게, 날지도 못하는 인간은 무얼 자랑할 수 있을까? 더 많은 공항이나 바다를 막아 지도를 바꾸는 일은 아니다. 나는, 멈춰야 할 때 멈출 수 있는 동물이 인간이라고 자랑하고 싶다. 그리고 우리는 반드시 멈출 거라고.

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